ZJ型機械增壓泵是根據(jù)羅茨送風(fēng)機原理工作的，通常也稱機械增壓泵為羅茨泵。羅茨泵是具有分子泵作用的一種容積式真空泵。這種泵的工作范圍是10-5x10一托，進(jìn)口壓強在10^10-:托時，有較大的抽速。現(xiàn)將羅茨泵的容積作用原理和分子作用原理說明如下:泵體內(nèi)有兩個“8”字形轉(zhuǎn)子，作等速反方向旋轉(zhuǎn)，使進(jìn)氣口方面和排氣口方面的泵腔容積發(fā)生重復(fù)變化，達(dá)到吸氣和排氣的目的，排出的氣體由前級泵抽走，這就是羅茨泵的容積作用原理。由于羅茨泵是在入口壓強較低的條件下工作，轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速又較高(一般為1000-3000轉(zhuǎn)/分)，轉(zhuǎn)子表面的線速度，接近被抽氣體的分子熱運動速度。這時，碰撞在轉(zhuǎn)子上的氣體分子，被轉(zhuǎn)子攜帶到排氣口，被前級泵抽走，這就是羅茨泵的分子作用原理。羅茨泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與泵體間有一定間隙。因此，這種泵具有驅(qū)動功率小，轉(zhuǎn)速高，抽速大，體積小，啟動快等特點。羅茨泵，必須有機械真空泵作為它的前級真空泵才能正常工作。如果沒有前級真空泵，一方面由于轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子間，轉(zhuǎn)子與泵體間有間隙，氣體反流較大，得不到較高的真空度，另一方面，壓縮真空度低的氣體，所需的功率大，使泵的發(fā)熱量大，容易把泵卡死。所以，這種泵必須有一定的預(yù)抽真空度時，才能啟動。一般羅茨泵在5-15托真空度時啟動。羅茨泵的抽速與前級真空泵的抽速*經(jīng)濟(jì)合理的比例，大約為10:1;

　　Z型油增壓泵(圖4):油增壓泵的工作壓強范圍為介于機械真空泵和油擴(kuò)散泵的工作壓強范圍之間，在10-Z^-10-，托壓強范圍內(nèi)有較大的抽速。油增壓泵由泵體、加器、傘形擴(kuò)散噴嘴、Al瓦爾噴聳和一擴(kuò)壓管等部分組成。其工作原理是:在入口處高真空段，被加熱燕發(fā)的油蒸氣，通過傘形擴(kuò)散噴嘴1的噴射，形成高速蒸氣流，使入口處被抽氣體不斷擴(kuò)散至蒸汽流中。在出口處的低真空段，加熱蒸發(fā)的油燕氣經(jīng)拉瓦爾噴管高速噴出，裹攜入口處的氣體進(jìn)入擴(kuò)壓管。擴(kuò)壓管內(nèi)蒸氣流的速度降低、壓強提高，在擴(kuò)壓管出口處壓強達(dá)到等于或高于其周圍的壓強，從而由出氣口被前級泵抽走。各級工作的油燕氣流，被泵體上的冷卻水管冷凝，經(jīng)回油管流回油箱，循環(huán)使用。

　　K型高真空油擴(kuò)散泵(圖5)3這種泵，在前級預(yù)抽真空10-=^-1。一托條件下，可以獲得10-`-10一托的真空度。加熱爐是獲得高真空的主要設(shè)備。油擴(kuò)散泵的工作真空度在10-‘托至1。一托之間。在此壓強下，被抽氣體的平均自由程要大于擴(kuò)散泵進(jìn)口直徑，氣體的流動屬于分子流。泵的抽氣主要靠被抽氣體分子向蒸氣流中的擴(kuò)散，因此，這種泵叫擴(kuò)散泵。‘其工作原理是，泵休底部，注入低飽和蒸氣壓的擴(kuò)散泵油，作為工作介質(zhì)。泵底部的電加熱器，把擴(kuò)散泵油加熱蒸發(fā)為油蒸氣。油燕氣通過導(dǎo)流管傳至上部傘形帽下面的環(huán)形噴嘴，由噴嘴向下噴射高速的蒸氣流。蒸氣流的速度高、壓強低，所含氣體極少。蒸氣流邊界ab上面被抽空間.的氣體分壓蠅，大于邊界下面燕氣流的氣體分壓強。根據(jù)氣體分子運動理論，壓強高的氣體向壓強低的方向流動，被捅氣休廁不廝麗百ab上面向蒸氣流內(nèi)擴(kuò)散。這樣，被抽氣體經(jīng)過噴嘴的多級擴(kuò)散和壓縮，被燕氣流攜帶到泵的出口，由前級泵抽走。冷卻水管，冷卻泵體內(nèi)壁，油蒸氣在泵體內(nèi)壁上被冷凝成油后，又返回至底部的蒸發(fā)器，重新被加熱，如此循環(huán)工作。