感應加熱表面淬火后的零件表面有殘余壓應力，感應加熱淬火爐生產線對力學性能（如硬度、耐磨性、疲勞強度）有利，故一般不希望回火，但由于應力分布不均勻，過渡區有較高的殘余拉應力，會對強度（如沖擊韌性）帶來不利影響，為了降低拉應力（同時也適當降低壓應力），消除脆性，故仍需要進行回火。

1、爐中回火；45鋼經高頻表面淬火后及經普通淬火后進行爐中回火溫度的關系，可以看出，高頻表面淬火比普通淬火的硬度高，同時高頻表面淬火零件在100—200℃比普通淬火降低明顯（這與表面的殘余壓應力減少有關），在250℃高頻表面淬火的硬度與普通淬火的硬度基本相同，因此，感應加熱表面淬火的零件的回火溫度比普通淬火零件的高一些，回火時間一般為60—120min。

感應加熱表面淬火時，控制噴射冷卻時間，利用淬火零件心部的余熱迅速傳遞到零件表面，使其升到一定溫度，以達到回火的目的，這種方法稱為自行回火。

感應加熱表面淬火自行回火時的表面溫度變化，零件內部的余熱而使零件表面升溫，但零件還處于冷卻液中，故對外反應出瞬間停滯，在e出的溫度100℃左右，而后立即開始升溫。對于形狀簡單或大批量生產的零件可以采用自行回火，通常改變加熱規范、冷卻條件和冷卻時間，可以調節表面的回火溫度，由于零件自行回火的時間較短，所以自行回火溫度要比爐中回火溫度高的多，自行回火可以節能電能，還可以減少淬火開裂的傾向，但操作上難以精確控制溫度，因而常出現溫度和硬度不均勻的現象，生產中精彩用測溫筆來測試自行回火溫度。

感應淬火生產線由于爐中回火時，回火時間長，為了提高生產率和自動化程度，可以采用感應加熱回火，零件通過感應加熱淬火冷卻后，接著在回火感應器進行回火，感應加熱回火同樣可以消除零件內的殘余拉應力，但感應加熱回火時的加熱層必須大于硬化層深度。

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