(1)為了提高真空系統的抽氣速率，可以采用真空泵的并聯;為了提高極限真空度，可以采用真空泵的串聯。

　　(2)真空管道盡可能取長度短些、直徑大些，盡量少出現彎管，少采用直角彎頭，以保證管道有足夠大的通導能力。高真空管道直徑應不小于油擴散泵進口直徑，前級真空管道直徑，等于前級真空泵進氣口直徑。

　　(3)為了防止機械泵及羅茨泵的機械震動對真空系統的影響，機械泵及羅茨泵與管道之間應安裝橡皮軟管或金屬波紋管作為減震裝置。

　　(4)爐子工作過程中產生的氣體或灰塵，影響真空泵的正常運行和使用壽命。以及為了防止真空泵的油蒸氣返流進入真空室，真空系統應考慮設置過濾器和捕集器。

　　(5)為了破壞真空室的真空，在真空室和真空泵附近，應設置手動或電磁真空放氣閥。

　　(6)真空閥門的設置，應能分段檢查真空泵的工作，并能在操作過程中切換真空泵和管路。

　　(7)真空規管應設置在真空室沒有油蒸氣污染處和真空泵附近。

　　(二)真空系統的組成

　　(1)真空泵

　　(2)真空測量裝置

　　以上兩部分前面已作介紹

　　(3)真空閥門:真空閥門是真空系統中的重要部件，其作用是用以接通或截止氣流。真空系統要求真空閥門對氣流有較大的道導能力，動作時間短，密封性好。真空閥門種類較多，從性能上，可分為低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門。從動作.上可分為手動、氣動、電動。焙燒爐從結構上分有截止閥、插板閥、翻板悶、裸閥等。現將真空熱處理爐常用的真空閥門介紹如下:

　　a)GDQ-J系列高真空氣動擋板閥:該閥門用于高真空系統，接通或截止氣流。閥門用氣壓驅功，可以遠距離操作，工作可靠，性能穩定，但結構復雜，維修不便，價格較貴。

　　b)GI,GIQ系列高真空蝶閥:GI系列為手動，GIQ系列為氣動。該閥結構簡單，操作方便，價格便宜。

　　c)GDC-J型、DDC-JQ型電磁真空閥,GDC-J型為高真空擋板式電磁閥，不帶放氣裝置，川于機械泵與擴散泵之間或機械泵與被抽真空室之間，作旁通閥用。DDC-JQ型為低真空擋板式帶放氣裝置的電磁閥，一般安裝在機械泵的進口上，與機械泵為同一電71fi'.控制。當機械泵啟動時，閥門自動打開，放氣部分關閉;當機械泵停車時，閥門自功關閉，放氣部分打開，向機械泵內放氣，防止機械泵向真空系統返油。