我們所知道的真空計有彈性式真空表、熱偶真空計、電阻真空計、電離真空計等相對真空計。現將常用的真空計工作原理簡介如下:

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　　（一)彈性式真空表(圖6),真空表內，有一由被青銅或不銹鋼等彈性材料制成的扁平截而彈簧彎管，管的一端與被測真空系統相連，另一端封死，并通過連桿齒輪與指針相連。當彈簧管內氣體壓強增高時，彈簧管的截面形狀向圈形變化，并使彈簧管向外擴張，帶動指針偏轉。反之，當管內氣體壓強降低時，指針朝相反方向旋轉。此種真空表，其真空度的測魚范圍為760托“"1托。

　　(二)熱偶真空計:熱偶真空計由測量真空度的敏感元件、熱偶規管和測量儀器組成。規管見圖7。測量儀器，由測量熱電勢的毫伏計和規骨加熱絲穩壓電源兩部分組成。熱偶規管與被測真空系統相通。熱偶規管外殼為玻璃管，內部有加熱絲1和熱偶絲2。熱偶絲的冷端和熱端W.度不同時，由于溫差效應，在回路中有熱電勢產生。如加熱絲電壓保持恒定，則熱偶絲的熱電勢取決于加熱絲的m度，而加熱絲的溫度與被側氣體的壓強有關。如壓強降低時，氣體的導熱率減小，被氣體傳走的熱量減小，加熱絲的溫度隨之升高，熱偶絲的熱電勢增加，反之，氣體壓強增高時，氣體的導熱率增加，被氣體帶走的熱量增加，加熱絲的溫度降低，熱電偶的熱電勢減小。用毫伏表測量熱電倆回路中的熱電勢，即可測出被測真空系統真空度的大小。

　　(三)電阻真空計(圖8):電阻真空計又稱皮拉尼真空計，.由電阻規管和測量儀器兩部分組成。電阻規管與被測真空系統相通。規管的外殼為玻璃殼或金屬殼，殼內裝有電阻絲。電阻絲常用電阻溢度系數較大的鎢、鉑、鎳等金屬絲。電阻絲溫度升高時，其電阻值增加。反之，溫度降低時，電阻值減小。電路系統保持電阻絲兩端的電壓恒定。如被測真空系統的氣體壓強降低時，氣體的導熱率相應減小，被氣體傳走的熱M減小，規管內電阻絲溫度升高，其電阻R，相應增加。反之，氣體壓強增高，R，相應減小。其側量電路為惠斯登電橋。規管的電阻絲為電橋的一竹，RZR。是固定電阻，R3是可變電阻。電橋平衡的條件是R,"R,=R2"R當R，變化時，電橋失去平衡，不平衡電流值由微安表讀出，即可測出真空度的變化。