所謂的真空的獲得用物理方法獲得真空的設備稱為真空泵。真空泵的種類很多，主要分為機械真空泵，油蒸氣泵兩類。真空熱處理爐上*常用的真空泵有:旋片式機械真空泵、滑閥式機械真空泵、機械增壓泵、油增壓泵以及油擴散泵。旋片式機械真空泵、滑閥式機械真空泵、機械增壓泵屬于機械真空泵類，油增壓泵、油擴散泵屬于油蒸氣泵類?，F將常用真空泵的工作原理簡介如下:

　　(一)2X型旋片式真空泵(圖1):這種泵的工作范圍為760^-10-’托，壓強在760-10-'托時有較大抽速。旋片式機械真空泵由泵體、偏心轉子、活動旋片、排氣閥、氣鎮閥等部分組成。其工作原理是:偏心轉子5的槽上裝有兩個旋片6，旋片在彈簧的彈力及偏心轉子轉動時產生的離心力的作用下，使旋片在轉動的過程中其兩端與泵體7的內圓筒壁貼緊。泵體上的進氣口、排氣口被轉子和旋片分成A, B兩個室。當轉子在泵體內順時針旋竺吮蘿個旋片周期性地將進氣口方面的，室容積逐漸擴大。由于容積的增大，此時A室的壓強低于進氣口的氣體壓強，從而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口方面的B室容積。由于容積的減小，將吸入的氣體壓縮，使其壓強增大，將排氣閥門3打開，把氣體排出。轉子的不斷轉功，使這一過程不斷重復，達到抽真空的目的。排氣閥門浸在油內，是為了保證閻門的密封，防止大氣流入泵內。2X型旋片式真空泵是由兩個泵室牟聯組成。兩個室的轉子同向等速旋轉。I室是低真空級，I室是較高真空級。被抽氣體由進氣口1進入I室，經旋片壓縮后由通道2進入I室，再經過I室的旋片壓縮后，由排氣閥3排出公因而，.雙級旋片式真空泵的極限真空度，較單級旋片式真空泵高。、氣鎮閥4的作用，加熱爐是通過此閥可以從外部向泵內補充空氣<<以降低被抽氣體水蒸氣的分壓力，從而防止被抽氣體中所含的水蒸氣擴凝結后混入油中。

　　(二)H型汾閥式真空泵(圖2)這種泵的工作范圍為760-10-，托，壓強在10-'^760托時有較大抽丸滑閥式真空泵，由泵體、偏心輪、滑閥等部分組成‘其工作原理是:泵體1內裝有滑閥4,偏心輪5裝在軸6上，軸6與泵體的中心線重合。由軸6,偏心輪5帶動滑閥，使滑閥沿導軌2作上下的自由滑動及左右擺動。這樣，泵缸即被滑閥分成A, B兩個室。當軸s逆時針旋轉時，A室容積逐漸增大，從進氣口吸入被抽氣體，B室容積逐漸縮小。壓縮氣體到滑閥4至上死點時，B室被壓縮的氣體頂開排氣閥3，并由排氣口排出。如此循環，泵不斷抽氣、排氣達到抽真空的目的。

　　(三)ZJ型機械增壓泵(圖3),旋片式機械真空泵和滑牌式機械真空泵，在10^-10-`托時抽速較低。為了提高在此壓強范圍的抽氣速率，在真空系統中，經常采用增壓泵。增壓泵有機械增壓泵、油增壓泵。增壓泵的特點，是在較低的入口壓強時，具有較高的抽氣速率。但它不能單獨使用，必須有一臺前級真空泵與之串聯。待被抽系統中的壓力被前級真空泵抽到增壓泵所允許的入口壓強時，增壓泵才能開始工作。增壓泵，通常作為1x1。一。托以下的低真空系統的末級泵及高真空系統的中間過渡泵。