真空熱處理的結(jié)構(gòu)：加熱爐加熱系統(tǒng)（爐膛和加熱元件等）、真空系統(tǒng)、淬火系統(tǒng)、工件轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)等幾部分構(gòu)成。

　　1、外熱式真空熱處理：將工件放在預(yù)抽真空的爐罐中，用外熱源加熱爐罐，再將爐罐的熱量通過(guò)輻射加熱工件。

　　2、內(nèi)熱式真空熱處理：電熱元件、隔熱屏、爐床和其它構(gòu)件均安裝在真空爐的加熱

　　室爐殼內(nèi)。主要靠電熱元件的直接熱輻射加熱工件。爐殼一般通過(guò)雙層水套冷卻，所以又稱冷壁式真空爐。

內(nèi)熱式真空熱處理的特點(diǎn)（與外熱式真空熱處理爐比較）

　　1）因無(wú)耐熱爐罐,加熱溫度范圍廣,可達(dá)到1300～2200℃；

　　2）爐子結(jié)構(gòu)復(fù)雜造價(jià)高,但易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，工作環(huán)境好，操縱安全；

　　3）熱慣性小，熱效率高，生產(chǎn)效率高；

　　4）爐溫均勻好，工件加熱變形小；

　　5）加熱期間通常不用保護(hù)氣體，保護(hù)氣氛消耗少；

　　6）電熱元件和隔熱屏障等構(gòu)件在真空高溫下放出大量氣體，需要配備的真空系統(tǒng)容量大。

3、預(yù)抽真空熱處理爐：

　　先抽真空再充可控氣氛的熱處理爐（要求爐殼和爐門的密封性好）。兼有真空爐和氣氛爐的優(yōu)點(diǎn)。節(jié)約用氣，設(shè)備造價(jià)低（用氣量?jī)H一般氣氛爐的1/10，造價(jià)是真空爐的1/2～1/3）。可用于光亮退火爐和正火。現(xiàn)可用作滲碳、碳氮共滲和氮碳共滲等。